１、洁净度 5 级cleanliness class 5

环境空气中大于等于0.5μm的微粒数大于350粒/m3（0.35粒/L）到小于等于3500粒/m3（3.5粒/L）；大于等于5μm的微粒数为0粒/L。相当于原100级。

２、洁净度6 级cleanliness class 6

环境空气中大于等于0.5μm的微粒数大于3500粒/m3（3.5粒/L）到小于等于35200粒/m3（35.2粒/L）；大于等于5μm的微粒数小于等于293粒/m3（0.3粒/L）。相当于原1000级。

３、洁净度 7级cleanliness class7

环境空气中大于等于0.5μm 的微粒数大于35200 粒/m3（35.2粒/L）到小于等于352000 粒/m3（352粒/L）；大于等于5μm 的微粒数大于293粒/m 3（0.3 粒/L）到小于等于2930 粒/m 3（3粒/L）。相当于原10000级。

４、洁净度 8级cleanliness class 8

环境空气中大于等于0.5μm 的微粒数大于352000 粒/m3（352 粒/L）到小于等于3520000 粒/m3（3520 粒/L）；大于等于5μm 的微粒数大于2930 粒/m3（3 粒/L）到小于等于29300 粒/m3（29 粒/L）。相当于原100000级。

５、洁净度 8.5级cleanliness class 8.5

环境空气中大于等于0.5μm 的微粒数大于3520000 粒/m3（3520 粒/L）到小于等于11120000粒/m3（11200 粒/L）；大于等于5μm 的微粒数大于29300 粒/m3（29 粒/L）到小于等于92500 粒/m3（92 粒/L）。相当于原30万级。